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《微纳电子技术》杂志是由信息产业部主管,电子十三所主办的自然科学、技术类期刊,是由国家新闻出版署批准公开发行的中国第一家有关纳米技术的刊物。《微纳电子技术》杂志是由1964年创刊的《半导体情报》改刊后,于2002年1月创刊的。本刊曾用刊名:半导体情报。
《微纳电子技术》杂志以宣传、介绍和交流21世纪最有希望的纳米技术中的纳米电子学、纳米电子器件、纳米材料和纳米测量技术、MEMS器件与技术为主要内容,兼顾纳米技术的推广和应用技术,同时对国内外纳米材料和器件研究的最新发现、发明、研究和制造给予跟踪和及时报道。
本刊专家论谈、纳米器件与技术、纳米材料与纳料结构、MEMS器件与技术、显微、测量、微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯等。
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名词术语释义——纳电子学
MEMS-IDT声表面波陀螺
聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用
MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展
90nm工艺及其相关技术
离子束沉积PdC_x纳米结构及其输运性能
有机分子纳米线的合成及其导体性质
GaN基多层结构椭偏测试模型优化和光谱研究
MEMS热膜式微型流量传感器的研制
铂黑/二茂铁修饰MEMS电极的葡萄糖传感器
下期部分目次预告
BCB/SiO_2双导芯层叠ARROW结构压力传感器设计
毫米波缝隙天线的三维非硅微加工制造技术
SiCICP背面通孔刻蚀研究
第三届中国微纳电子技术行业交流与学术研讨会
2010年全国半导体器件技术研讨会
资助课题 | 涉及文献 |
国家中长期科技发展规划重大专项(2009ZX02308) | 40 |
国家自然科学基金(51035005) | 16 |
河北省自然科学基金(E2013202247) | 16 |
国家自然科学基金(61172043) | 14 |
陕西省自然科学基金(2011JZ015) | 14 |
国家高技术研究发展计划(2011AA050507) | 9 |
北京市留学人员科技活动择优资助项目(66062021) | 7 |
国家自然科学基金(60777016) | 7 |
国家自然科学基金(10676008) | 7 |
国家自然科学基金(61176108) | 7 |
资助项目 | 涉及文献 |
国家自然科学基金 | 1199 |
国家高技术研究发展计划 | 195 |
国家重点基础研究发展计划 | 163 |
河北省自然科学基金 | 77 |
山西省自然科学基金 | 73 |
国家中长期科技发展规划重大专项 | 63 |
江苏省自然科学基金 | 46 |
北京市自然科学基金 | 46 |
中央高校基本科研业务费专项资金 | 43 |
国家科技重大专项 | 41 |