微细加工技术杂志简介
《微细加工技术》杂志创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。
微细加工技术杂志栏目设置
本刊综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术。
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微细加工技术杂志范例
0.1微米电子束曝光机成像系统的计算
激光直写系统制作掩模和器件的工艺
LIGA技术制作Fresnel波带片的研究
金属型场发射阵列的研究
一种微摩擦力光学测试方法
SU-8环氧树脂的分离实验研究
利用等离子体表面预处理改善光掩模IP胶显影工艺特性
多层薄膜微结构热应力计算
脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜
PECVD法制备的ZnO薄膜结晶性能的影响
采用氨化技术制备成簇生长的光滑线状氮化镓
痕量爆炸物爆燃探测敏感元件的结构设计
新型压电微喷的研制
硅栅干法刻蚀工艺中腔室表面附着物研究
MEMS微电磁驱动器磨损对光开关性能的影响分析
微细加工技术杂志发文分析
主要资助课题分析
| 资助课题 | 涉及文献 |
| 国家自然科学基金(90307003) | 13 |
| 山东省自然科学基金(Y2003G03) | 12 |
| 国家重点基础研究发展计划(2003CB716204) | 7 |
| 国家自然科学基金(59671051) | 7 |
| 山东省科技攻关计划(022090105) | 7 |
| 国家高技术研究发展计划(2004AA404260) | 5 |
| 国家高技术研究发展计划(2003AA404150) | 4 |
| 国家自然科学基金(10572078) | 4 |
| 国家自然科学基金(50275140) | 4 |
| 国家高技术研究发展计划(2003AA404140) | 3 |
主要资助项目分析
| 资助项目 | 涉及文献 |
| 国家自然科学基金 | 256 |
| 国家高技术研究发展计划 | 65 |
| 国家重点基础研究发展计划 | 54 |
| 国家教育部博士点基金 | 17 |
| 国家重点实验室开放基金 | 15 |
| 山东省自然科学基金 | 13 |
| 中国科学院知识创新工程 | 11 |
| 中国博士后科学基金 | 10 |
| 上海市自然科学基金 | 8 |
| 中国科学院知识创新工程重要方向项目 | 8 |
