半导体制造技术全文(5篇)

【摘要】半导体科学是一门近几十年迅猛发展起来的重要新兴学科，是计算机、通讯技术、电子技术、雷达、自动化技术等信息科学的基础。半导体制造是半导体工业的重要分支，是集成电路产业的基础。

【关键词】CDIO；半导体制造技术；课程改革；产业结合

一、工程教育（CDIO）模式

工程教育是我国高等教育的重要组成部分，在国家工业化信息化进程中，对独立完整门类齐全的工业体系的形成与发展，有着不可替代的作用。CDIO工程教育模式是近年来国际工程教育改革的最新成果，是以Conceive、Design、Implement、Operate（即构思、设计、实现、运作）一系列从产品研发到产品运行的产业周期为载体，让学生在理论和实践间过渡，完成自主学习。电子科学与技术专业是一个典型的工科专业，工程性和实践性非常强，希望通过课程学习使得学生具有以下工程核心能力：（1）具有运用数学、自然科学及工程知识的能力；（2）具有设计与开展实验，分析与解释数据的能力；（3）具有开展工程实践所需技术、技巧及使用现代工具的能力；（4）具有设计工程系统、组件或工艺流程的能力；（5）具有项目管理、有效沟通、领域整合与团队合作的能力；（6）具有发掘、分析、应用研究成果基于工程教育理念的《半导体制造技术》课程改革◎潘颖司炜裴雪丹及综合解决复杂工程问题的能力；（7）培养终身学习的习惯与能力；（8）具有基本工程伦理认知，尊重多元观点。

二、课程目标与存在的问题

《制造》是面向高校电子科学与技术专业的一门工程技术核心主干课程。本课程主要介绍半导体工艺流程、关键工艺步骤，以及相关领域的新工艺、新设备、新技术，其目标是培养掌握基础理论，熟悉专业知识，了解技术前沿，拓展科技视野，并具有一定工艺设计、分析解决实际工艺问题的电子科学与技术领域应用型工程创新人才。随着电子行业对半导体器件微型化、高频率、大功率、可靠性等要求的提高，半导体科学近几十年的迅猛发展，《制造》内容也随之不断充实，内容繁杂、综合性强、与实际工艺结合紧密。在这样的现实情况下，《制造》课程的教学难度越来越大，主要体现在以下几个方面（1）教学信息量大、课程学时有限，难以合理安排教学进度；（2）工艺设备昂贵，课程实践需求难以满足；（3）理论知识抽象，与实际工业联系不紧密，学生的积极性和创造性难以提高；（4）课程考核形式单一，难以全面检查教学成果。课程教学内容、方法、考核等一系列问题的背后，根本原因是当前《制造》课程的教学模式不尽合理，教学改革势在必行。

三、课程建设思路

摘要：半导体产业是现代信息社会的基石，是契合节能减排、智能制造、信息安全等国家重大战略需求，支撑新一代移动通信、新能源汽车、高速轨道列车、能源互联网等产业自主创新发展和转型升级的重点核心材料和电子元器件产业，是支撑当前经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性和先导性产业，是信创产业的核心和基石。天津下一步应加强半导体产业重点承接平台建设，确保转移来津项目留得住、发展好，推动经济高质量发展，加快推进承接北京非首都功能疏解。

关键词：半导体;信创产业;非首都功能疏解

0引言

我国目前正处于快速夯实半导体产业科技基础的重要阶段，加快半导体材料、器件与应用技术的开发及其产业化仍然是目前我国发展半导体产业的首要任务。“十三五”以来，我国各级政府部门出台了多个科技领域相关政策，以及由国家指导性政策衍生的多个具体实施规划及举措，旨在促进我国半导体产业及技术的发展，为我国半导体产业的发展方向提供战略性建议[1]。

1半导体产业发展现状

1.1全球半导体产业格局处于重塑期

从全球半导体产业区域竞争格局来看，美国仍然是全球半导体产业综合实力最强的国家，拥有科锐、道康宁等公司，其技术创新成果及产业规模位居全球首位；韩国作为后发地区，在技术引进与自我创新相结合的推动下，产业发展态势良好，韩国在半导体市场处于领先地位，拥有三星、LG等知名企业；欧洲的半导体产业链完整，恩智浦、英飞凌和意法半导体等公司实力出众；日本在化学材料、核心零部件领域处于全球领先水平，拥有富士电机、罗姆等著名企业。由于欧盟和日本产业正呈现走弱趋势，全球半导体产业格局重塑再一次到来[2]。

1对电力电子技术应用的探讨

其具体包括以下几方面的内容：第一，通过对电力电子技术的应用，已经将传统发电机直流励磁转化为由中频交流励磁和电力电子整流相结合的方法，并且在推广应用过程中取得了良好的效果，其运行的可靠性也得到了提高。第二，电力电子技术的应用有效地改变了水轮发电机的变频励磁。发电频率取决于发电机的转速，采用了电力电子技术后，将水轮发电机直流励磁转变为低频交流变频励磁。当水流量减少时，提高励磁频率，可以把发电频率补偿到额定，延长水轮发电机的发电周期，解决水力发电中发电机工作时间受季节性水流量影响而导致的频率无法调节、浪费较多水能的问题。这对大型水力发电设施来说，具有巨大的经济效益。

2电力电子技术的未来发展趋势

从近几十年的发展历程中我们可以看出，半导体的发明与应用有效地推动了电子技术的快速发展，其中晶闸管等电力半导体在这一过程中发挥了重要的作用。在进入20世纪70年代后，半控型晶闸管形成由低电压小电流到高电压大电流的系列产品，被称为第一代电力电子器件。随着电力电子技术理论研究和半导体制造工艺水平的不断提高，先后研制出GTR、GTO、功率MOSFET等自关断全控型第二代电力电子器件。近期研制的以绝缘栅双极晶体管(IGBT)为代表的第三代电力电子器件，开始向大容量高频率、响应快、低损耗的方向发展，这又是一个飞跃。步入20世纪90年代后，电力电子技术得到突飞猛进的发展，与该技术有关的产品也得到进一步升级，大都朝着智能化、模块化方向发展，逐步形成了电力电子技术的三步走模式及理论的研发，产品的研制、产品的应用，成为国际科研领域的新星，成为经济社会发展的热门行业。但是，就目前我国电力电子技术发展现状来看，还不容乐观，其中电力半导体器件的研发与应用同西方发达国家相比，还存在较大的差距，还比较落后，所以，如果在21世纪国际电力电子技术迅猛发展的背景下，我国半导体器件的落后状态得不到改善，将直接影响我国国民经济的快速发展，因此，对于我国电力电子技术的发展趋势来说，仍然任重而道远。

3结语

现阶段，我国电力电子技术的应用同西方发达国家相比，还存在较大的差距，但是，电力电子技术在我国各领域的应用潜力非常巨大，我们作为与电力电子技术应用有关的工作人员，应该认清当前发展形势，不断提高自身的专业知识、专业水平、激发自己的创新能力，相信我国电力电子技术势必会得到又好又快的发展。

作者：李勇 单位：黑龙江太平洋科技有限公司

【摘要】当前，我国的半导体制造已经进入28纳米制程量产节点，所以很多工厂都引进了相应的设备，所引进的相应设备所使用的化学品量和相应制程与以往有很大的不同。同时，在注重环保的理念下，相应的排放规则也与以往有所不同，所以这就对其废水处理有着严格的要求。论文首先介绍了先进制程对废水排放的影响，以及半导体先进制程的废水处理系统的变化，进而为半导体先进制程的废水处理提供相应参考。

【关键词】半导体；先进制程；废水处理技术

1引言

2017年，我国的半导体工厂数量越来越多，目前的数量已经能够满足社会发展的需求，而且在数量不断增多的基础上，也在不断地研究更高水平的半导体。而对于这其中的处理部门而言，在生产过程中湿式蚀刻和化学机械研磨这两个部门所消耗的水量较大，那么就会在生产过程中出现大量的废水。因此，这就需要根据这两个部门来研究其废水处理技术，减少对水资源的浪费，更好地保护环境。

2先进制程对废水排放的影响

在传统情况下，湿式蚀刻一般会利用相应的机械来完成湿式蚀刻的具体处理工序，所利用的机械是将数十个半导体送入机械中，然后对其进行蚀刻和清洗。在这其中，化学品的更换标准有两个[1]：第一，实际的Lot数；第二，物理时间。无论先达到哪一个指标，都会对其进行换酸处理。在这种方法应用下的化学品能够反复使用，其冲洗则是按照Lot的具体情况来进行，将对其完成冲洗后的水通过相应系统进行回收。而在先进制程情况下，则开始利用SingleWafer这种机器，这类机器的构成更为精密，其化学品处理方式与传统的机械处理并不相同，此类机器中可能会有几种不同的制程，例如，清洗、喷氢氟酸，等等。因此，湿式蚀刻部门的废水总量就开始有所下降，其能够进行回收的水量也与以往相比有所下降。大多数情况下，利用这类机器时没有产生任何回收水，一些化学品在这种情况下，也不能够反复使用，其化学品的用量有所增长，废水的浓度增加。光照部门在应用先进制程后，其酸碱的废水并没有过多改变，其芯片变得复杂，并且其废水中的各类废物，如单乙基醚丙二醇等废液有所增多，其曝光次数也明显增多，排水总量有所增加。

3化学品用量的变化

【摘要】从洁净室安装暖通空调系统的必要性及暖通空调工作原理出发，对施工过程中存在的问题进行分析，发现管线标注不精准、噪声大、电路管道流通不畅、有滴水等问题，均会影响到施工的正常开展，甚至降低暖通空调的使用效果，因此，在施工时，应加强施工图纸、设备、施工材料等方面的质量控制，同时加强对施工人员的培训与管理，使不同项目的施工人员有效配合，做好预留孔、合理选用支架、工程验收及后期维护等工作。

【关键词】洁净室；暖通空调；安装施工；质量控制

1引言

随着我国科技水平的不断提高，半导体行业的产品制造及加工内容开始朝着微型化、精密化方向转变，对生产环境的要求也随之提高，常规生产环境已无法满足当前产品制造与加工需求，因此，洁净室工程受到了相关行业的广泛关注。洁净室内的洁净度、振动、温湿度等均是判断洁净室是否符合产品制造与加工环境要求的指标，洁净室工程的最终目标就是将相关指标控制在特定范围内。暖通空调安装是洁净室工程中决定上述指标能否符合要求的重要环节，其施工流程复杂，不确定性较强，易出现质量问题，从而导致洁净室出现洁净度下降、温湿度偏差问题，致使洁净室不符合生产要求[1]，因此，在施工过程中采取必要的质量控制措施具有重要意义。本文将从洁净室与暖通空调的概念、暖通空调安装施工过程中存在的问题、施工质量控制对策等方面进行分析，以期为相关研究提供指导。

2洁净室暖通空调系统

在半导体制造业中，由于各种设备敏感性强，周围环境中存在的杂质会使其特性产生改变，甚至破坏其性能，如金属离子能破坏半导体器件的导电性能，灰尘粒子能破坏半导体器件的表面结构，因此，在制造过程中除恒温恒湿条件外，还存在一定的洁净度要求。洁净室是指将洁净度、温湿度、室内压力、气流分布、气流速度、噪声振动、静电等参数控制在特定需求范围内的密闭性较好的空间，能为我国亚微米工艺提供生产条件，使半导体制造支撑设备处于与粉尘隔绝的密闭空间中，从而保证工厂投产后能够发挥最佳生产效能[2]。暖通空调是指具有采暖、通风、空气调节功能的空调器，其工作原理是利用制冷机中冷冻水与制冷剂的热量交换产生汽化现象，降低冷冻水温度，利用压缩机形成高压气体，经冷凝器处理变为低压低温气体，通过冷风机将其引入洁净室内。暖通空调作为洁净室控制系统的重要组成部分，能够通过对生产环境空气温湿度及悬浮粒子的监测与控制，确保环境参数符合生产要求，在避免空气污染的同时给工作人员提供舒适环境。

3洁净室暖通空调安装施工时存在的问题